1、确定具体目标
符合性测试的基本目标，在于确定有关的内部控制制度的实际执行情况。由于不同的单位以及不同的控制环节，测试的内容不同，抽查的具体目标也不同。为了保证抽样工作的有效进行，必须明确、具体地规定抽查的目标，它体现在抽样检查的审计程序中。
确定抽样检查的具体目标，首先取决于被查单位内部控制制度本身的规定。另一方面查账人员本身的知识和经验对于具体目标的确定也有很大影响。符合性测试中，重点是对内部控制制度的基本的和关键的控制环节进行抽样检查，哪些环节必须检查，是由查账人员决定的。
抽样检查具体目标的确定，提出了制订抽样检查审计程序的依据和要求，同时也规定了差错的性质和范围，它为抽查工作的定性分析、定量分析的有机结合奠定了较好的基础。
2、定义总体范围
抽样检查的具体目标，明确了测试的基本内容及性质、定义总体范围，则是将检查的目标进一步具体化，规定抽样检查哪些业务或资料，范围包括哪些单位和哪段时间。总体定义的要求，其中的主要问题是保证总体的完整性。
3、决定抽样组织方式
在抽样审计工作中，为了实现提高工作效率的目标，必须优先考虑、合理设计抽样的组织方式。具体地讲，就是要根据已确定的抽样检查的目标、总体范围，结合审计条件、被查单位管理及核算状况，来确定抽样组织方式。
4、确定样本规模
属性抽查法中，不同的技术方法所采用的确定样本规模的方法也不同。但是，影响样本规模的主要因素是相同的，确定需要的样本规模时，不论采用哪种方法，都必须首先对这些因素进行定量化分析，称为“参数估计”。参数估计涉及的因素如下：
（1）抽样结论可靠程度。
它是指抽样结论可予依赖的程度。在属性抽样中，它与查账人员准备对内部控制制度的依赖程度有关，就是指抽样结论不发生过分依赖内部控制错判的把握程序。一般情况下，查账人员对内部控制制度的依赖程度越高，抽样结论不发生错判的把握应该越大。同时，抽样结论可靠程度与需要的样本规模之间呈正比关系，要求的抽样结论可靠程度越高，需要的样本规模越大。
（2）可接受的错误率最高水平。
它是指影响查账人员对内部控制制度依赖程度决策的差错率，简称错误率上限，或精确度上限。它是判断内部控制有效性的数量标准。在属性抽样的计划阶段，查账人员必须确定，总体中存在的差错超过何种水平，就应该改变对内部控制制度的依赖程度。对内部控制程度的依赖程度与错误率上限水平的关系呈反方向变化，对内部控制程度的依赖程度越大，要求确定的错误率上限水平越低；依赖程度越小，可接受的错误率水平越高。同时，对内部控制制度的的依赖程度，又影响着有关的实质性测试的时间和范围。查账人员要想在保证质量的前提下，用比较少的审查资源完成同样的审查任务，必须合理地确定对内部控制制度的依赖程度及相应的错误率上限，错误率上限水平与属性抽样的样本规模呈反比关系。
假设抽样结论可靠程度为95%，预期的总体错误率为5%，则总体样本规模相当大，则可以计算出：
（3）预计的总体错误率。
它是查账人员根据内部控制系统的内容、变化，有关人员的素质，以前年度发现的问题等方面的情况，对总体可能包含的差错的估计。
预计的总体错误率很高，则需要得到更多、更精确的证据证实这种估计：如果预计的总体错误率越过了错误率上限，查账人员就需要修改对内部控制制度的计划依赖程度，甚至根本不予以任何的依赖。
预计总体错误率与样本规模的关系呈相同的方向变化。预计的总体错误率水平越高，需要的样本越多。
查账人员不能人为地低估总体错误率以减少抽查的样本，这样做的结果，往往使抽查的结论不确定，或者是不恰当地否定对内部控制的计划依赖程度，从最终结果看，查账工作的效率不是提高而是降低了。
（4）总体规模的大小对样本规模基本上没有影响。
5、实施抽样计划
主要包括两项工作：选取样本和检查样本。
选取样本的工作，一方面要按照确定的选择方法进行，另一方面要注意不能任意舍去选中的样本。如果因为某种原因而无法抽取，或者无法按规定的程序检查某个样本时，可以把该样本看成是错误的，或者采取其他程序对其进行检查。在选取样本时，可以考虑对同一样本项目进行多方面的检查。而不是以每一个内部控制环节或制度规定为对象分别选取样本，这样就可以大大提高工作效率。如果每个控制环节需要抽查的样本量不同，以样本规模最大的量为准抽取。在对样本进行检查的过程中，要严格按照查账程序，进行并要将检查的结果记录下来。同时，如果在检查最初的若干样本中发现了过多的错误，可以提前停止抽查，因为在这种情况下，查账人员基本上能够形成一个否定的结论，或者应该考虑采用其他程序进行审查，以提高工作效率。
6、评价抽样结果
形成最后的抽查结论，是属性抽样工作的最后一项内容。根据样本检查结果推断总体质量特征，主要是确定总体审定的错误率上限水平，将其与计划中确定的衡量标准比较，查账人员即可得出肯定或否定癖体的结论。在样本检查结果的评价中，查账人员不仅要对发现的错误进行定量分析，还要注意分析错误的性质及其产生的原因。
总之，不论具体工作步骤如何划分，属性抽查法都必须按照上述程序进行工作，工作的内容与要求不应遗漏或违背。整个工作过程都应形成相应的审查文件或工作底稿，这样才能切实保证抽样工作的质量与效率。
